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隔膜泵是容積泵中較為特殊的一種形式。它是依靠一個隔膜片的來回鼓動改變工作室容積從而吸入和排出液體的。氣動隔膜泵主要由傳動部分和隔膜缸頭兩大部分組成。傳動部分是帶動隔膜片來回鼓動的驅(qū)動機構(gòu),它的傳動形式有機械傳動、液壓傳動和氣壓傳動等,其中應(yīng)用較為廣泛的是液壓傳動。隔膜泵的工作部分主要由曲柄連桿機構(gòu)、柱塞、液缸、隔膜、泵體、吸入閥和排出閥等組成,其中,由曲軸連桿,柱塞和液缸構(gòu)成的驅(qū)動機構(gòu)與往復柱塞泵十分相似。
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